长鑫存储芯片工艺重大突破,成功实现量产!
9月20日,长鑫存储在世界制造业大会上重磅官宣,第五代DRAM技术平台(G5平台)成功实现量产,并同步推出基于该平台研发的大容量LPDDR5X新品。这标志着国产DRAM工艺正式跻身全球第一梯队,为全球存储市场带来供应链新选择。
作为长鑫存储高端存储技术路线上的关键里程碑,G5平台在核心工艺上完成多项突破性创新。
平台采用四重曝光技术,将内存阵列有源区半间距缩小至11.95纳米,达到全球顶尖内存量产节点水平。依托全新工艺流程与新材料方案,存储电容深宽比做到45:1;同时落地DRAM专用高介电常数金属栅HKMG工艺,核心功能区高度压缩至6762纳米。
在研发体系上,长鑫存储打造了专属数字孪生系统,贯穿芯片设计、工艺开发、晶圆制造、产线维护全生命周期。通过虚拟产线搭建先进DRAM工艺模型,大幅加快研发迭代速度。除此之外,界面工程、鞍形鳍式结构、低k间隔层位线等多项底层核心工艺,也取得重要技术突破。
工艺的革新,直接带来产品密度、成本与能效的全面跃升。对比第四代技术平台,G5平台单片晶圆裸片产出数量提升至少50%(按8Gb颗粒基准换算),在能效表现与成本控制上优势突出。
本次同步亮相的两款G5平台LPDDR5X产品,单颗容量24Gb,相比上一代同规格产品容量提升50%,分别采用496Ball、245Ball两种封装形式,可匹配中高端手机、便携消费电子等多元应用场景,目前两款产品已经进入规模量产阶段。
长鑫存储表示,后续将持续紧跟全球市场需求,稳步推进存储技术迭代,持续推出高性能、高可靠性的存储芯片,为全球数字产业筑牢底层存储底座。
注:有源区半间距、深宽比及核心功能区高度为实测数据,存在正常测量偏差;提升比例为长鑫G5平台对比第四代技术平台测算,晶圆裸片产出以8Gb颗粒基准统计。